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MDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試
產品簡介

MDPmap(MDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試)是一個緊湊的離線台式檢測設備,主要被設計用於生產控製或研發、測量少子壽命、光電導率、電阻率和缺陷信息等參數。其工作狀態為穩態或短脈衝激勵下(μ-PCD)。

產品型號:Freiberg--MDPmap
更新時間:2024-09-12
廠商性質:代理商
訪問量:2337
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?產品介紹

 --MDPmapMDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試是一個緊湊的離線台式檢測設備,主要被設計用於生產控製或研發、測量少子壽命、光電導率、電阻率和缺陷信息等參數。其工作狀態為穩態或短脈衝激勵下(μ-PCD)。

 --MDPmap(MDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試)自動化的樣品識別和參數設置可以使該儀器方便地適應各種不同的樣品,包括從生長的晶圓到高達95%的金屬化晶圓之間不同製備階段的各種外延片和晶圓片。

 --MDPmap主要優點是其高度的靈活性,它允許集成多達4個激光器,用於從超低注入到高注入的與注入水平相關的壽命測量,或者通過使用不同的激光波長提取深度信息。

 

 

?設備特點

 --靈敏度:對外延工藝監控和不可見缺陷檢測,具有可視化測試的較好色直播下载率
 --測量速度:6英寸矽晶圓片,1mm分辨率 ,小於5分鍾
 --壽命測試範圍: 20納秒到幾十毫秒
 --沾汙檢測:源自坩堝和生長設備的金屬(Fe)汙染
 --測量能力:從初始切割的晶圓片到所有工藝加工的樣品
 --靈活性:允許外部激光通過觸發器,與探測模塊耦合
 --可靠性: 模塊化和緊湊台式儀器,更高可靠性,正常運行時間> 99%
 --重現性: > 99.5%
 --電阻率:無需時常校準的電阻率麵掃描

 

 

?設備參數

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